Mae gan ddyluniad optegol ystod eang o gymwysiadau yn y maes lled-ddargludyddion. Mewn peiriant ffotolithograffeg, mae'r system optegol yn gyfrifol am ganolbwyntio'r trawst golau a allyrrir gan y ffynhonnell golau a'i daflunio ar y wafer silicon i ddatgelu'r patrwm cylched. Felly, mae dylunio ac optimeiddio cydrannau optegol yn y system ffotolithograffeg yn ffordd bwysig o wella perfformiad y peiriant ffotolithograffeg. Dyma rai o'r cydrannau optegol a ddefnyddir mewn peiriannau ffotolithograffeg:
Amcan amcanestyniad
01 Mae'r amcan tafluniad yn gydran optegol allweddol mewn peiriant lithograffeg, sy'n cynnwys cyfres o lensys fel arfer gan gynnwys lensys amgrwm, lensys ceugrwm, a phrismau.
02 Ei swyddogaeth yw crebachu'r patrwm cylched ar y mwgwd a'i ganolbwyntio ar y wafer wedi'i orchuddio â ffotoresydd.
03 Mae cywirdeb a pherfformiad yr amcan amcanestyniad yn cael dylanwad pendant ar ddatrysiad ac ansawdd delweddu'r peiriant lithograffeg
Drych
01 Drychauyn cael eu defnyddio i newid cyfeiriad golau a'i gyfeirio i'r lleoliad cywir.
02 Mewn peiriannau lithograffeg EUV, mae drychau yn arbennig o bwysig oherwydd bod golau EUV yn cael ei amsugno'n hawdd gan ddeunyddiau, felly mae'n rhaid defnyddio drychau ag adlewyrchedd uchel.
03 Mae cywirdeb wyneb a sefydlogrwydd yr adlewyrchydd hefyd yn cael effaith fawr ar berfformiad y peiriant lithograffi.
Hidlau
01 Defnyddir hidlwyr i gael gwared ar donfeddi golau diangen, gan wella cywirdeb ac ansawdd y broses ffotolithograffeg.
02 Trwy ddewis yr hidlydd priodol, gellir sicrhau mai dim ond golau o donfedd penodol sy'n mynd i mewn i'r peiriant lithograffeg, a thrwy hynny wella cywirdeb a sefydlogrwydd y broses lithograffeg.
Prismau a chydrannau eraill
Yn ogystal, gall y peiriant lithograffeg hefyd ddefnyddio cydrannau optegol ategol eraill, megis prismau, polaryddion, ac ati, i fodloni gofynion lithograffeg penodol. Rhaid i ddethol, dylunio a gweithgynhyrchu'r cydrannau optegol hyn ddilyn y safonau a'r gofynion technegol perthnasol yn llym er mwyn sicrhau cywirdeb ac effeithlonrwydd uchel y peiriant lithograffeg.
I grynhoi, nod cymhwyso cydrannau optegol ym maes peiriannau lithograffeg yw gwella perfformiad ac effeithlonrwydd cynhyrchu peiriannau lithograffeg, a thrwy hynny gefnogi datblygiad y diwydiant gweithgynhyrchu microelectroneg. Gyda datblygiad parhaus technoleg lithograffeg, bydd optimeiddio ac arloesi cydrannau optegol hefyd yn darparu mwy o botensial ar gyfer cynhyrchu sglodion cenhedlaeth nesaf.
Am ragor o wybodaeth a chyngor arbenigol, ewch i'n gwefan ynhttps://www.jiujonoptics.com/i ddysgu mwy am ein cynnyrch a'n datrysiadau.
Amser postio: Ionawr-02-2025
