Mae gan ddyluniad optegol ystod eang o gymwysiadau yn y maes lled -ddargludyddion. Mewn peiriant ffotolithograffeg, mae'r system optegol yn gyfrifol am ganolbwyntio'r trawst golau a allyrrir gan y ffynhonnell golau a'i daflunio ar y wafer silicon i ddatgelu'r patrwm cylched. Felly, mae dylunio ac optimeiddio cydrannau optegol yn y system ffotolithograffeg yn ffordd bwysig o wella perfformiad y peiriant ffotolithograffeg. Mae'r canlynol yn rhai o'r cydrannau optegol a ddefnyddir mewn peiriannau ffotolithograffeg:
Amcan Rhagamcaniad
01 Mae'r amcan taflunio yn elfen optegol allweddol mewn peiriant lithograffeg, fel arfer yn cynnwys cyfres o lensys gan gynnwys lensys convex, lensys ceugrwm, a charchardai.
02 Ei swyddogaeth yw crebachu'r patrwm cylched ar y mwgwd a'i ganolbwyntio ar y wafer wedi'i orchuddio â ffotoresist.
03 Mae cywirdeb a pherfformiad yr amcan tafluniad yn cael dylanwad pendant ar benderfyniad ac ansawdd delweddu'r peiriant lithograffeg
Drychau
01 Drychauyn cael eu defnyddio i newid cyfeiriad y golau a'i gyfeirio i'r lleoliad cywir.
02 Mewn peiriannau lithograffeg EUV, mae drychau yn arbennig o bwysig oherwydd bod golau EUV yn hawdd ei amsugno gan ddeunyddiau, felly mae'n rhaid defnyddio drychau ag adlewyrchiad uchel.
03 Mae cywirdeb arwyneb a sefydlogrwydd y adlewyrchydd hefyd yn cael effaith fawr ar berfformiad y peiriant lithograffeg.
Hidlwyr
Defnyddir hidlwyr 01 i gael gwared ar donfeddi golau diangen, gan wella cywirdeb ac ansawdd y broses ffotolithograffeg.
02 Trwy ddewis yr hidlydd priodol, gellir sicrhau mai dim ond golau tonfedd benodol sy'n mynd i mewn i'r peiriant lithograffeg, a thrwy hynny wella cywirdeb a sefydlogrwydd y broses lithograffeg.
Carchardai a chydrannau eraill
Yn ogystal, gall y peiriant lithograffeg hefyd ddefnyddio cydrannau optegol ategol eraill, megis carchardai, polaryddion, ac ati, i fodloni gofynion lithograffeg penodol. Rhaid i ddewis, dylunio a gweithgynhyrchu'r cydrannau optegol hyn ddilyn y safonau a'r gofynion technegol perthnasol yn llym i sicrhau manwl gywirdeb ac effeithlonrwydd uchel y peiriant lithograffeg.
I grynhoi, nod defnyddio cydrannau optegol ym maes peiriannau lithograffeg yw gwella perfformiad ac effeithlonrwydd cynhyrchu peiriannau lithograffeg, a thrwy hynny gefnogi datblygiad y diwydiant gweithgynhyrchu microelectroneg. Gyda datblygiad parhaus technoleg lithograffeg, bydd optimeiddio ac arloesi cydrannau optegol hefyd yn darparu mwy o botensial ar gyfer cynhyrchu sglodion y genhedlaeth nesaf.
I gael mwy o fewnwelediadau a chyngor arbenigol, ewch i'n gwefan ynhttps://www.jiujonoptics.com/i ddysgu mwy am ein cynhyrchion a'n datrysiadau.
Amser Post: Ion-02-2025
